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摘要:本文主要探讨了微细加工工艺方法,涉及对微小尺度下的材料加工技术进行研究。通过深入研究不同工艺参数对微细加工过程的影响,文章旨在提高加工精度和效率,同时考虑材料性能和经济性。这些工艺方法在微电子、生物医学、航空航...